[发明专利]一种高效紧凑矩形环谐振腔波导型光滤波器

摘要

一种高效紧凑矩形环谐振腔光波导型滤波器，属集成光学领域。其由单模光波导构成封闭的长矩形，两条相互平行的直条单模光波导垂直穿过矩形波导两条长边，与矩形波导交叉；矩形波导端部在十字交汇处之间部分为相移臂；两条直条波导中间被矩形波导分割的部分为参考臂，矩形长边被两条平行波导分割的部分为连接波导；直条波导端部与十字交汇处之间的部分为输入波导，与其在同一直条波导的另一端与相邻十字交汇处之间的部分为输出波导Ⅰ，与输入波导相邻的另一条直波导端部与相邻十字交汇处之间的部分为输出波导Ⅱ；本发明采用矩形环谐振腔替代传统的微环谐振腔，克服了微环结构的材料折射率差对曲率半径的制约，进一步减小圆环形波导结构的弯曲损耗。

主权项

一种高效紧凑矩形环谐振腔波导型光滤波器，其特征在于：由单模光波导构成封闭的长矩形，两条相互平行的直条单模光波导垂直穿过矩形波导两条长边，分别与矩形波导交叉；矩形波导端部在十字交汇处之间部分为相移臂(4)；两条直条波导中间被矩形波导分割的部分为参考臂(5)，矩形长边被两条平行波导分割的部分为连接波导(6)；任一直条波导端部与十字交汇处之间的部分为输入波导(1)，与其在同一直条波导的另一端与相邻十字交汇处之间的部分为输出波导Ⅰ(8)，与输入波导相邻的另一条直波导端部与相邻十字交汇处之间的部分为输出波导Ⅱ(9)；输出波导Ⅱ(9)所在的直条波导另一端与相邻十字交汇处之间部分为复用波导(10)；在矩形波导直角外侧，沿波导传播方向成45°角方向刻蚀切面，构成全反射镜(7)；矩形波导与直条波导交叉处，分别沿相邻的全反射镜(7)平行方向刻蚀微纳沟槽(2)；波导输入端为输入波导(1)的耦合端面(1a)；输出端分别为输出波导Ⅰ(8)的耦合端面(8a)和输出波导Ⅱ(9)的耦合端面(9a)；输入波导、输出波导Ⅰ(8)、输出波导Ⅱ(9)、复用波导(10)完全等价，分别作为输入输出端口，实现交叉复用。