[发明专利]大型环抛机抛光胶盘面形检测装置

摘要

一种大型环抛机抛光胶盘面形检测装置，包括平直导轨、激光器、透镜组、照明狭缝、分光棱镜、五角棱镜、直角棱镜、底座、CCD、位移调节装置、移动台和可伸缩套筒，本发明可对大型环抛机抛光胶盘面形进行检测，该装置结构简单，操作方便，稳定可靠，精度较高，不仅大大消除了工件搬运过程的安全性，而且避免了外界杂质的引入而对工件表面造成损伤。

主权项

一种大型环抛机抛光胶盘面形检测装置，其特征在于该装置包括固定在抛光机机架上的带有光尺(5)的平直导轨(1)，固定在平直导轨(1)上的位移调节装置(11)及其驱动沿所述的平直导轨(1)移动的移动台(12)，依次封装的激光器(2)、透镜组(3)、狭缝光阑(4)、分光棱镜(7)和准直棱镜(8)固定地悬挂在所述的平直导轨的下方，所述的狭缝光阑(4)的中心位于透镜组(3)的焦点，五角棱镜或反射镜(13)通过夹持装置固定在移动台(12)内，一可伸缩套筒(14)和所述的移动台(12)的下方刚性连接，一底座(15)和所述的可伸缩套筒(14)铰接后放置在抛光胶盘(17)上；一直角棱镜(16)安放在所述的底座(15)的直角棱镜槽内，所述的直角棱镜(16)的直角棱贴合在所述的抛光胶盘(17)上，沿所述的激光器(2)发出的激光束方向，依次经所述的透镜组(3)、狭缝光阑(4)、分光棱镜(7)、准直透镜(8)、五角棱镜或反射镜(13)，经五角棱镜或反射镜(13)的反射光投射到所述的直角棱镜(16)上，经该直角棱镜(16)的反射光返回，再经五角棱镜或反射镜(13)、分光棱镜(7)反射后成像在CCD(6)上。