[发明专利]ZrS3纳米带薄膜的柔性光探测器

摘要

本发明通过气运传输法制备ZrS₃纳米带薄膜，用胶带粘帖转移法实现该薄膜向柔性基底转移如PP，PET和纸等薄的柔性基底，用简易的掩膜覆盖，然后在薄膜上蒸镀两个导电电极如Ti/Au或Au等，移去掩膜后在ZrS₃纳米带薄膜上留下分立的电极即构成简易的从紫外到近红外的光探测器。实验表明性能良好可靠。本发明公开了其材料和该探测器的加工方法。

主权项

ZrS₃纳米带薄膜的柔性光探测器：这种探测器是将ZrS₃纳米带薄膜通过单面胶带粘贴转移到PP薄膜上，或用双面胶带转移到纸和PET薄膜上，制作金属丝和纸框架掩膜，再真空蒸镀导电材料电极，揭去掩膜后，在该薄膜上有了两个以上的导电电极，这就构成了柔性的光探测器。