[发明专利]光刻胶的胶瓶盖子及胶瓶

摘要

本发明提供一种光刻胶的胶瓶盖子及胶瓶，该胶瓶盖子包括瓶帽、帽芯、盖板和胶管引导锁紧件；其中，瓶帽通过其下部内侧的螺纹与胶瓶的瓶口螺纹连接；帽芯位于瓶口的上方、瓶帽的上部内侧；盖板位于瓶帽和帽芯的上方，并与帽芯相固定；盖板与帽芯之间形成一环形凹槽，瓶帽的上部前端嵌入环形凹槽中，使瓶帽跟盖板与帽芯之间既不可分离又能彼此独立转动；帽芯和盖板上钻有上下贯通的孔眼，胶管引导锁紧件从孔眼中穿过，并与帽芯和/或盖板之间螺纹固定；胶管引导锁紧件的内部中空，引导光刻胶的胶管从中穿过而插入至胶瓶内适当深度，并将胶管与胶瓶盖子锁紧固定。本发明能够将胶管与胶瓶盖子固定，防止胶管因不插到瓶底而造成的抽空，避免晶圆缺胶。

主权项

一种光刻胶的胶瓶盖子(201)，其特征在于，包括瓶帽(202)、帽芯(204)、盖板(206)和胶管引导锁紧件(208)；其中，所述瓶帽(202)通过其下部内侧的螺纹与光刻胶的胶瓶(200)的瓶口螺纹连接；所述帽芯(204)位于所述瓶口的上方、所述瓶帽(202)的上部内侧；所述盖板(206)位于所述瓶帽(202)和所述帽芯(204)的上方，并与所述帽芯(204)相固定；所述盖板(206)与所述帽芯(204)之间形成一环形凹槽(210)，所述瓶帽(202)的上部前端嵌入所述环形凹槽(210)中，使所述瓶帽(202)跟所述盖板(206)与所述帽芯(204)之间既不可分离又能彼此独立转动；所述帽芯(204)和所述盖板(206)上均钻有上下贯通的孔眼(212)，所述胶管引导锁紧件(208)从所述孔眼(212)中穿过，并与所述帽芯(204)和/或所述盖板(206)之间螺纹固定；所述胶管引导锁紧件(208)的内部中空，引导光刻胶的胶管从中穿过而插入至所述胶瓶(200)内适当深度，并将所述胶管与所述胶瓶盖子(201)之间锁紧固定。