[发明专利]一种纳米绒面多晶硅太阳能电池低压变温扩散方法

摘要

一种纳米绒面多晶硅太阳能电池低压变温扩散方法，它涉及太阳能电池的技术领域，它的低压变温扩散方法为：清洁硅片-抽真空-升温-通源-降温-出片；其中扩散气体压强保持在0.001～0.8大气压，扩散温度范围为600-950度，使用硅片为p型硅片、n型硅片。它采用低压扩散，结合变温扩散，解决纳米绒面硅片扩散不均匀的问题，在低压条件下，扩散源分子运动加快，表现为在扩散腔内的杂质源分布均匀，在硅片表面的局部浓度差异小，有利于创造一个均匀扩散的环境。同时在纳米绒面结构的内部，气体源的扩散长度大，响应时间短，在一定时间内表现为具有相似的扩散源气氛。

主权项

一种纳米绒面多晶硅太阳能电池低压变温扩散方法，其特征在于它的低压变温扩散方法为：清洁硅片‑抽真空‑升温‑通源‑降温‑出片；其中扩散气体压强保持在0.001～0.8大气压，扩散温度范围为600‑950度，使用硅片为p型硅片、n型硅片。