[发明专利]微机械部件及微机械部件的制造方法有效
| 申请号： | 201410315253.8 | 申请日： | 2014-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN104276540B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | A·克尔布尔;J·赖因穆特;J·克拉森 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械部件，具有基片(10)，其具有空穴(12)，所述空穴向内构造在所述基片的功能性上侧(10a)中；至少部分导电的薄膜(24)，其至少部分地张紧所述空穴；以及对应电极(42)，其间隔开地布置在所述薄膜的从基片远离地指向的外侧上，以使在对应电极和至少部分导电的薄膜之间存在自由空间(52)；所述至少部分导电的薄膜张紧在至少一个至少部分地覆盖所述基片的功能性上侧的电绝缘材料上或其上方；和至少一个压力入口(56)构造在空穴上，以使所述至少部分导电的薄膜利用从所述微机械部件的外部环境流入到所述空穴中的气体介质可向内弯曲到所述自由空间中。本发明还涉及一种微机械部件的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 部件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机械部件，具有：基片(10)，其具有空穴(12)，所述空穴(12)向内构造在所述基片(10)的功能性上侧(10a)中；至少部分导电的薄膜(24)，其使所述空穴(12)至少部分地张紧；以及对应电极(42)，其间隔开地布置在所述薄膜(24)的从所述基片(10)远离地指向的外侧上，以使在所述对应电极(42)和至少部分导电的薄膜(24)之间存在自由空间(52)；其特征在于，所述至少部分导电的薄膜(24)张紧在至少一个至少部分地覆盖所述基片(10)的功能性上侧(10a)的电绝缘材料(20)上或其上方，和至少一个压力入口(56)构造在所述空穴(12)上，以使所述至少部分导电的薄膜(24)利用从所述微机械部件的外部环境流入到所述空穴(12)中的气体介质可向内弯曲到所述自由空间(52)中，使得从所述基片的远离所述功能性上侧指向的背面和/或从所述微机械部件的位于所述基片的功能性上侧和所述背面之间的侧面对所述薄膜施加压力。
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