[发明专利]阵列波导光栅波分复用器

摘要

本发明公开一种阵列波导光栅波分复用器，包括用来使阵列波导光栅芯片被分离的两部分芯片在相对移动时更平稳的支撑部，通过随着温度变化而伸缩的伸缩部来使得支撑部产生切割缝方向的形变，从而使得第一基板和第二基板在切割缝方向产生相互错位移动、第一部分芯片和第二部分芯片在切割缝方向产生相互错位移动。由于支撑部的存在，可以将阵列波导光栅芯片贴在基板上再进行切割，不需要重新对光耦合。支撑部可以支撑阵列波导光栅芯片所在的活动基板，加强了结构的稳定性，并且使阵列波导光栅芯片被分离的两部分芯片在相对移动时更平稳。

主权项

一种阵列波导光栅波分复用器，其特征在于，包括基板、伸缩部、支撑部和阵列波导光栅芯片，所述伸缩部随着温度变化而伸缩；所述阵列波导光栅芯片贴于所述基板上，所述基板和所述阵列波导光栅芯片分别被切割，所述基板被切割分成第一基板和第二基板，且所述第一基板和第二基板之间形成切割缝，所述阵列波导光栅芯片被所述切割缝切割分离成第一部分芯片和第二部分芯片，所述伸缩部连接所述第一基板和所述第二基板，所述伸缩部与所述切割缝的夹角不等于90°，所述支撑部连接所述第一基板和所述第二基板；所述伸缩部随着温度变化而伸缩使得所述支撑部产生形变，进而使得所述第一基板和所述第二基板在所述切割缝方向产生相互错位移动、所述第一部分芯片和所述第二部分芯片在所述切割缝方向产生相互错位移动；所述支撑部为两根热膨胀系数一致、细长均匀且相互平行的细杆。