[发明专利]一种亚波长抗反射结构器件及其制备方法无效
| 申请号： | 201410315591.1 | 申请日： | 2014-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN104049287A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 尚鹏;熊胜明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B1/11 | 分类号： | G02B1/11 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 孟卜娟;李新华 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种亚波长抗反射结构器件及其制备方法。其中亚波长抗反射结构器件包括平顶亚波长抗反射结构，所述平顶亚波长抗反射结构包括基底和刻蚀在所述基底之上的平顶表面微结构；所述亚波长抗反射结构器件还包括以倾斜入射沉积方式获得的在所述平顶表面微结构之上的非平顶结构；所述非平顶结构与所述基底材质相同。本发明的亚波长抗反射结构器件，与现有技术相比，能够增强现有技术中平顶亚波长抗反射结构的抗反射效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 反射 结构 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种亚波长抗反射结构器件，其特征在于，包括平顶亚波长抗反射结构，所述平顶亚波长抗反射结构包括基底和刻蚀在所述基底之上的平顶表面微结构；所述亚波长抗反射结构器件还包括以倾斜入射沉积方式获得的在所述平顶表面微结构之上的非平顶结构；所述非平顶结构与所述基底材质相同。
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