[发明专利]一种等离子发生装置及等离子处理装置有效
| 申请号： | 201410315816.3 | 申请日： | 2009-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN104125696A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 安成一;宋尚镐 | 申请（专利权）人： | 圆益IPS股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种等离子发生装置。此装置包括：绝缘板(Smn)，沿第一方向及跨过第一方向的第二方向以矩阵形式排列；金属上板，包括其上设置绝缘板并具有四角形形状的贯通孔(Hmn)；天线结构体(Tmn)，设置于各绝缘板上。天线结构体包括：第一型天线结构体，接近于金属上板的边缘而设置；第二型天线结构体，接近于金属上板的边而设置；其中，第一型天线结构体比第二型天线结构体消耗更多的电力，从而可形成均匀等离子。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 发生 装置 处理 | ||
【主权项】：
一种等离子发生装置，包括：四角形金属上板，沿第一方向及跨过第一方向的第二方向形成以矩阵形式排列的多个贯通孔；多个绝缘板，分别安装在所述金属上板的贯通孔上；天线结构体，设置于所述多个绝缘板的上部；沿所述第一方向排列的绝缘板的数为3以上，而沿所述第二方向排列的绝缘板的数为3以上，所述天线结构体，包括：多个第一型天线结构体，接近于所述金属上板的边缘的绝缘板而设置；多个第二型天线结构体，接近于所述金属上板的边的绝缘板而设置；至少一个以上的第三型天线结构体，由所述第一型天线结构体及所述第二型天线结构体围绕而成，并且设置于所述金属上板的内侧；其中，所述第一型天线结构体比所述第二型天线结构体消耗更多的电力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于圆益IPS股份有限公司，未经圆益IPS股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410315816.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
