[发明专利]微细凹凸结构转印用无机组合物有效
| 申请号： | 201410318108.5 | 申请日： | 2012-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN104155847A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 古池润 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 李晓 |
| 地址： | 日本国东京都千代*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可经由良好的转印工序，制作由可调节折射率的无机物构成的微细凹凸结构的微细凹凸结构转印用无机组合物。本发明的组合物含有硅酮化合物和至少2种金属醇盐，金属醇盐是具有金属品种M1(其中，M1是从由Ti、Zr、Zn、Sn、B、In及Al构成的群组中选出的至少1种金属元素)的金属醇盐和具有金属品种Si的金属醇盐。此外，在组合物中，具有金属品种M1的金属醇盐的摩尔浓度CM1与具有金属品种Si的金属醇盐的摩尔浓度CSi之间的比满足下述式(1)。0.2≦CM1/CSi≦24 (1) | ||
| 搜索关键词： | 微细 凹凸 结构 转印用 无机 组合 | ||
【主权项】：
一种微细凹凸结构转印用无机组合物，含有Si和所述Si以外的金属元素M1，其特征在于，含有所述Si和所述金属元素M1介由氧键合而成的金属硅氧烷键，即‑Si‑O‑M1‑，所述Si以外的金属元素M1是从由Ti、Zr、Zn、Sn、B、In及Al构成的群组中选出的至少1种金属元素，同时，Si元素浓度CpSi与Si以外的金属元素M1的元素浓度CpM1的比率CpM1/CpSi为0.02以上、20以下。
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