[发明专利]一种测试器件群测试键有效
申请号: | 201410318557.X | 申请日: | 2014-07-04 |
公开(公告)号: | CN105448890B | 公开(公告)日: | 2018-04-17 |
发明(设计)人: | 柯其勇;孙鲁男;游方伟;王俊闵 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司11438 | 代理人: | 姜怡,阚梓瑄 |
地址: | 201500 上海市金山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种测试器件群测试键,包括场效应晶体管,具有源极、栅极和漏极;源极测试垫,连接到源极;栅极测试垫,连接到栅极;漏极测试垫,连接到漏极;第一二极管组,连接到源极测试垫和栅极测试垫之间,其中第一二极管组由多个二极管连接而成,使得从源极测试垫到栅极测试垫方向上因存在有反向连接的二极管而不导通,并且同时从栅极测试垫到源极测试垫方向上也因存在有反向连接的二极管而不导通;以及第二二极管组,连接到漏极测试垫和栅极测试垫之间,其中第二二极管组由多个二极管连接而成,使得从漏极测试垫到栅极测试垫方向上因存在有反向连接的二极管而不导通,并且同时从栅极测试垫到漏极测试垫方向上也因存在有反向连接的二极管而不导通。 | ||
搜索关键词: | 一种 测试 器件 | ||
【主权项】:
一种测试器件群测试键,其特征在于,包括:场效应晶体管,具有源极、栅极和漏极;源极测试垫,电性连接到所述源极;栅极测试垫,电性连接到所述栅极;漏极测试垫,电性连接到所述漏极;第一二极管组,电性连接到所述源极测试垫和所述栅极测试垫之间,其中所述第一二极管组由多个二极管连接而成,使得从所述源极测试垫到所述栅极测试垫方向上因存在有反向连接的二极管而不导通,并且同时从所述栅极测试垫到所述源极测试垫方向上也因存在有反向连接的二极管而不导通;以及第二二极管组,电性连接到所述漏极测试垫和所述栅极测试垫之间,其中所述第二二极管组由多个二极管连接而成,使得从所述漏极测试垫到所述栅极测试垫方向上因存在有反向连接的二极管而不导通,并且同时从所述栅极测试垫到所述漏极测试垫方向上也因存在有反向连接的二极管而不导通,其中所述第一二极管组和所述第二二极管组中的每一个至少包括两个反向串联的二极管。
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