[发明专利]一种宽禁带半导体功率器件的带宽测试装置及方法

摘要

本发明公开了一种宽禁带半导体功率器件的带宽测试装置及方法，满足了高压、大电流、大功率宽禁带半导体功率器件对带宽测试的特殊要求，避免了高压、大电流的共同发生等一系列导致被测宽禁带半导体功率器件损坏问题，使测试系统输出的功率稳定在设置的参考功率点上，并有效保证了宽禁带半导体功率器件的精确带宽测试。

主权项

一种宽禁带半导体功率器件的带宽测试装置，其特征在于：主要包括锁相环频率信号合成电路、稳幅控制电路、调制电路、延时电路、信号源、实时功率监控、相关检测、积分电路、模数转换器、CPU电路、自动增益控制电路、温度相位控制电路、时基发生电路等；所述锁相环频率信号合成电路输出端与稳幅控制电路输入端连接，稳幅控制电路输出端与调制电路输入端连接，调制电路输出端与信号源电路输入端连接，信号源电路输出端与实时功率监控电路输入端连接，实时功率监控电路输出端与被测半导体器件输入端连接，被测半导体器件输出信号接入相关检测电路；同时，调制电路输出端与延时电路输入端连接，延时电路输出信号也接入相关检测电路；被测半导体器件输出信号与延时电路输出信号经相关检测电路处理后，其输出信号接入积分电路，积分电路输出端与数模转换器输入端连接，数模转换器与CPU处理单元进行通信并受其控制，CPU处理单元还对锁相环频率信号合成电路进行控制；另外，时基发生电路为锁相环频率信号合成电路提供所需的时基信号，自动增益控制单元使稳幅控制电路实现信号幅度稳定，温度、相位控制单元实现信号源的温度稳定性和相位稳定性。