[发明专利]带电粒子束系统及操作带电粒子束系统的方法有效
| 申请号： | 201410323346.5 | 申请日： | 2014-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN104282516B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | J.A.诺特四世;M.D.迪马纳;R.希尔;R.康纳斯;A.格罗霍尔斯基 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/147 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开涉及一种带电粒子束系统及操作带电粒子束系统的方法。该带电粒子束系统括带电粒子束源、带电粒子柱、样品室、布置在带电粒子柱、带电粒子束源和样品室之一内或之一处的多个电动装置、以及将AC电压转换为DC电压的至少一个第一转换器。第一转换器定位成与带电粒子束源、带电粒子柱和所述带电粒子室中任一个相距一距离，多个电动装置的所有元件构造成在带电粒子束源运行期间运行时仅由转换器提供的DC电压供能。 | ||
| 搜索关键词： | 带电粒子束系统 带电粒子束 带电粒子 转换器 电动装置 样品室 源运行 运行时 供能 相距 转换 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束系统，包括：带电粒子源；带电粒子柱；样品室；多个电动装置，布置在所述带电粒子柱、所述带电粒子源和所述样品室之一内或之一处；至少一个第一转换器，将AC电压转换为DC电压，其中，所述第一转换器定位成与所述带电粒子源、所述带电粒子柱和所述带电粒子室中任一个相距一距离，所述多个电动装置包括离子吸气泵和涡轮泵中的至少一个，并且其中，所述多个电动装置的所有元件在所述带电粒子源运行期间运行时构造成仅由所述转换器提供的DC电压供能。
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