[发明专利]一种薄膜厚度检测机构在审
| 申请号： | 201410328077.1 | 申请日： | 2014-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN104152855A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王振东;何万能 | 申请（专利权）人： | 苏州诺耀光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜厚度检测机构，包括：薄膜厚度探头（1），其设置在薄膜（2）上，用于感应检测所述薄膜（2）的厚度；水冷保护罩（3），其覆盖在所述薄膜厚度探头（1）上，用于降低局部温度；支撑机构（4），其设置在所述薄膜（2）的下方，用于撑托薄膜（2），所述支撑机构（4）的下方设置溅射阴极（5）。本发明所述薄膜厚度检测机构能够在真空状态下，对连续生产的真空溅镀的薄膜的厚度进行在线测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 厚度 检测 机构 | ||
【主权项】：
一种薄膜厚度检测机构，其特征在于，包括：薄膜厚度探头（1），其设置在薄膜（2）上，用于感应检测所述薄膜（2）的厚度；水冷保护罩（3），其覆盖在所述薄膜厚度探头（1）上，用于降低局部温度；支撑机构（4），其设置在所述薄膜（2）的下方，用于撑托薄膜（2），所述支撑机构（4）的下方设置溅射阴极（5）。
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