[发明专利]探测装置

摘要

本发明提供一种探测装置，该探测装置在按晶片等级进行半导体器件的电特性检查时能够简便且有效地防止在晶片表面附近产生火花(放电)。该探测装置中，火花防止机构(50)包括：在探测卡(16)和载置台(12)之间包围探针(26S、26G)的周围的围绕部件(52)；和在对半导体晶片(W)上的各芯片(功率器件)进行电特性检查时，为了在探针(26S、26G)的周围形成比大气压高的规定压力的气氛，经由围绕部件(52)的内部或附近，向探针(26S、26G)的周围供给气体的气体供给机构(54)。接触板(34)兼作围绕部件(52)。

主权项

1.一种探测装置，其用于对形成于半导体晶片上且在两面具有电极的功率器件的电特性进行检查，所述探测装置的特征在于，包括：载置并支承所述半导体晶片的能够移动的载置台；与所述载置台相对地配置于所述载置台的上方，对与露出在由所述载置台支承的所述半导体晶片的正面的所述功率器件的正面侧电极接触的探针进行支承的探测卡；将所述探针和测定器的对应的第一端子电连接的第一连接导体；形成所述载置台的载置面，与露出在由所述载置台支承的所述半导体晶片的背面的所述功率器件的背侧电极接触的载置面导体；安装在所述载置台上，与所述载置面导体电连接的能够升降移动的接触件；包围所述探针的周围的导电性的接触板，其在比所述探测卡低的位置且配置在所述载置台的上方，使得能够通过所述接触板的下表面与所述接触件接触；将所述接触板和所述测定器的对应的第二端子电连接的第二连接导体；和在进行所述功率器件的电特性的检查时，为了在所述探针的周围形成比大气压高的规定压力的气氛，经由所述接触板的内部或附近对所述探针的周围供给气体的气体供给机构。