[发明专利]一种半导体设备不间断真空系统在审
| 申请号： | 201410331325.8 | 申请日： | 2014-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN104078395A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 邓尚上;赖朝荣;苏俊铭 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种半导体设备不间断真空系统，包括：第一计量器、主泵、备用泵和处理装置；其中，处理装置被连接至第一计量器、主泵和备用泵以从第一计量器接收信号并控制主泵和备用泵；主泵用于对半导体设备抽真空和/或保持半导体设备的真空状态；备用泵在启动时用于对半导体设备抽真空和/或保持半导体设备的真空状态；其中，第一计量器监控主泵的运作状态，并将主泵的运作状态实时反馈给计算机系统。计算机系统在根据从第一计量器接收到的主泵的运作状态判断主泵工作异常时计算主泵工作异常的持续时间，并且在所述持续时间超过设定响应时间启动备用泵对半导体设备抽真空和/或保持半导体设备的真空状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 不间断 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种半导体设备不间断真空系统，其特征在于包括：第一计量器、主泵、备用泵和处理装置；其中，处理装置被连接至第一计量器、主泵和备用泵以从第一计量器接收信号并控制主泵和备用泵；主泵用于对半导体设备抽真空和/或保持半导体设备的真空状态；备用泵在启动时用于对半导体设备抽真空和/或保持半导体设备的真空状态；其中，第一计量器监控主泵的运作状态，并将主泵的运作状态实时反馈给计算机系统。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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