[发明专利]一种薄膜晶体管、阵列基板和显示装置

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管、阵列基板和显示装置。该薄膜晶体管包括栅极、栅绝缘层、有源层、源极和漏极，栅绝缘层设置在栅极和有源层之间，源极和漏极分别对应设置在有源层的两端，有源层采用金属氮氧化物材料形成，还包括能导电的氧空位削减层，氧空位削减层设置在有源层与源极之间，和/或氧空位削减层设置在有源层与漏极之间，用于对有源层中的氧空位进行削减。该薄膜晶体管通过设置氧空位削减层，使有源层中氧空位的数量大大减少，从而提高了载流子的传输速率，同时还降低了薄膜晶体管的亚阈值摆幅，进而大大提升了薄膜晶体管的导通性能。

主权项

一种薄膜晶体管，包括栅极、栅绝缘层、有源层、源极和漏极，所述栅绝缘层设置在所述栅极和所述有源层之间，所述源极和所述漏极分别对应设置在所述有源层的两端，所述有源层采用金属氮氧化物材料形成，其特征在于，还包括能导电的氧空位削减层，所述氧空位削减层设置在所述有源层与所述源极之间，和/或所述氧空位削减层设置在所述有源层与所述漏极之间，用于使其中的氮原子渗透到所述有源层中，以对所述有源层中的氧空位进行削减；所述氧空位削减层采用金属氮化物材料。