[发明专利]降低超导纳米线单光子探测器件非本征暗计数的方法及器件有效

专利信息
申请号: 201410334717.X 申请日: 2014-07-15
公开(公告)号: CN104064631A 公开(公告)日: 2014-09-24
发明(设计)人: 尤立星;李浩;王镇 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/101
代理公司: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 李仪萍
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种降低超导纳米线单光子探测器件非本征暗计数的方法及器件,包括步骤:于所述超导纳米线单光子探测器件上集成短波通多层薄膜滤波器;其中,所述短波通多层薄膜滤波器为通过多层介质薄膜实现的具有短波通滤波功能的器件。所述非本征暗计数为由于光纤黑体辐射及外界杂散光触发的暗计数。本发明操作简单,仅需在衬底上集成短波通多层薄膜滤波器,将非信号辐射过滤掉,该方法可以在保证信号辐射和器件的光耦合效率的同时,有效降低非本征暗计数,从而提高器件在特定暗计数条件下的探测效率,另外,只需要过滤波长范围大于1550nm的光波,降低了设计要求,有利于滤波器的实现。
搜索关键词: 降低 导纳 米线 光子 探测 器件 暗计 方法
【主权项】:
一种降低超导纳米线单光子探测器件非本征暗计数的方法,其特征在于,包括步骤:于所述超导纳米线单光子探测器件上集成短波通多层薄膜滤波器;其中,所述短波通多层薄膜滤波器为通过多层介质薄膜实现的具有短波通滤波功能的器件。
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