[发明专利]用于改进的RRAM可靠性的金属线连接件、包括它的半导体布置及其制造方法

摘要

一种集成电路器件包括RRAM单元的阵列、用于RRAM单元的阵列的位线的阵列以及用于RRAM单元的阵列的源极线的阵列。源极线和位线都位于RRAM单元之上的金属互连层中。从而提供了具有比传统的引线尺寸更高的源极线，这使复位速度增大了约一个数量级。结果，RRAM晶体管的寿命和RRAM器件的耐久性提高了类似的程度。本发明提供用于改进的RRAM可靠性的金属线连接件、包括它的半导体布置及其制造方法。

主权项

一种集成电路器件，包括：RRAM单元的阵列；位线的阵列，连接至所述RRAM单元的阵列，每条所述位线具有第一截面面积，所述第一截面面积为所述位线的宽度与厚度的乘积；以及源极线的阵列，用于所述RRAM单元的阵列，每条所述源极线具有第二截面面积，所述第二截面面积为所述源极线的宽度与厚度的乘积；其中，所述第二截面面积大于所述第一截面面积；以及所述源极线和所述位线配置为运载用于使所述RRAM单元置位和复位的电流。