[发明专利]一种低成本三维结构石墨烯-铝超级电容器复合电极材料的制备方法在审
申请号: | 201410338863.X | 申请日: | 2014-07-16 |
公开(公告)号: | CN104064378A | 公开(公告)日: | 2014-09-24 |
发明(设计)人: | 亓钧雷;林景煌;张夫;王旭;费维栋;冯吉才 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | H01G11/86 | 分类号: | H01G11/86;C23C16/513;C23C16/26 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 侯静 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种低成本三维结构石墨烯-铝超级电容器复合电极材料的制备方法,本发明涉及复合电极材料的制备方法。本发明要解决现有石墨烯基超级电容器采用的石墨烯材料大部分为氧化法制备的石墨烯,结构缺陷多,表面含氧官能团很多,极大地恶化了石墨烯基超级电容器的性能,使得超级电容器在使用过程中与电解液的润湿性差,有效反应面积降低,难以发挥出石墨烯材料的高比表面积及优异电学性能。本发明的方法:将基体材料置于等离子体增强化学气相沉积真空装置中,通入氩气,调节温度及压强,再通入甲烷气体进行沉积,沉积结束后,即得到三维结构石墨烯-铝超级电容器复合电极材料。本发明用于制备石墨烯-铝超级电容器复合电极材料。 | ||
搜索关键词: | 一种 低成本 三维 结构 石墨 超级 电容器 复合 电极 材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种低成本三维结构石墨烯‑铝超级电容器复合电极材料的制备方法,其特征在于一种低成本三维结构石墨烯‑铝超级电容器复合电极材料的制备方法是按照以下步骤进行的:一、将基体材料置于等离子体增强化学气相沉积真空装置中,抽真空至压强为5Pa以下,通入氩气,调节氩气气体流量为10sccm~40sccm,调节等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强为100Pa~300Pa,并在压强为100Pa~300Pa和氩气气氛下,在25min内将温度升温至为400℃~600℃;二、通入甲烷气体,调节甲烷的气体流量为5sccm~40sccm,调节氩气的气体流量为60sccm~95sccm,调节等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强为200Pa~700Pa,然后在射频功率为150W~250W、压强为200Pa~700Pa和温度为400℃~600℃条件下进行沉积,沉积时间为30min~90min,沉积结束后,关闭射频电源和加热电源,停止通入甲烷气体,在氩气气氛下从温度为400℃~600℃冷却至室温,即得到三维结构石墨烯‑铝超级电容器复合电极材料。
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