[发明专利]感光性聚硅氧烷组合物及其应用

摘要

本发明提供了一种感光性聚硅氧烷组合物及由该感光性聚硅氧烷组合物所形成的薄膜，其用于形成TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜或光波导路的芯材或包覆材的保护膜，该薄膜具有表面平坦性佳、图案具高锥度角等特性。该感光性聚硅氧烷组合物包含：聚硅氧烷聚合物A、邻萘醌二叠氮化合物B、含硅烷基的碱可溶性树脂C以及溶剂D。

主权项

1.一种感光性聚硅氧烷组合物，包含：聚硅氧烷聚合物A；邻萘醌二叠氮磺酸酯B；含硅烷基的碱可溶性树脂C；以及溶剂D；所述聚硅氧烷聚合物A由下列结构式4所代表的化合物聚合而形成；Si(Ra)w(ORb)4‑w   结构式4其中：Ra代表氢原子、具有1至10个碳原子的烷基、具有2至10个碳原子的烯基、具有6至15个碳原子的芳香基、含有酸酐基的烷基、含有环氧基的烷基或含有环氧基的烷氧基；至少一个Ra代表含有酸酐基的烷基；当Ra为多个基团时，各个Ra为相同或不同；Rb代表氢原子、具有1至6个碳原子烷基、具有1至6个碳原子酰基、具有6至15个碳原子的芳香基；当Rb为多个基团时，各个Rb为相同或不同；及w代表0至3的整数；其中，所述含硅烷基的碱可溶性树脂C由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物c‑1、结构式1所示的含硅烷基的不饱和化合物c‑2及其他不饱和化合物c‑3经聚合反应而得的树脂：其中：R1代表氢原子或甲基；a代表1至6的整数；R2及R3独立代表具有1至12个碳原子的烷基、苯基、具有1至6个碳原子的烷氧基或结构式2所示的基团；b代表1至150的整数；当R2及R3为多个基团时，各个R2及R3为相同或不同；R4代表具有1至6个碳原子的烷基或结构式3所示的基团；其中：R5、R6及R7独立代表具有1至12个碳原子的烷基或苯基；c代表2至13的整数；当R6及R7为多个基团时，各个R6及R7为相同或不同；其中：R8、R9及R10独立代表具有1至12个碳原子的烷基或苯基；及所述其他不饱和化合物c‑3是选自由含环氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸脂环族酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、(甲基)丙烯酸羟烷酯、及芳香乙烯化合物所组成的群。