[发明专利]一种带气泡的电流阻挡层的发光二极管及其制作方法有效
| 申请号： | 201410341608.0 | 申请日： | 2014-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN104103732B | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 钟志白;冯岩;杨力勋;江彦志;李佳恩;林素慧;徐宸科 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/44 | 分类号： | H01L33/44;H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361009 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明一种具有电流阻挡层的发光二极管的制作方法，至少包括以下步骤在衬底上生长发光外延叠层，自下而上依次包括N型半导体层、活性层和P型半导体层；在发光外延叠层表面旋涂液态绝缘材料，并采用起泡机在液态绝缘材料中形成微小气泡；对形成微小气泡的液态绝缘材料，进行快速固化；采用黄光光刻以及蚀刻工艺，保留电流阻挡层区域，该区域位于后续电极正下方；制作电极，从而制得发光二极管芯片结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气泡 电流 阻挡 发光二极管 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种带气泡的电流阻挡层的发光二极管的制作方法，至少包括以下步骤：（1）在衬底上生长发光外延叠层，自下而上依次包括N型半导体层、活性层和P型半导体层；（2）在发光外延叠层表面涂布液态绝缘材料，并采用起泡机在液态绝缘材料中形成微小气泡；（3）对形成微小气泡的液态绝缘材料，进行快速固化，用于充当电流阻挡层；（4）采用黄光光刻以及蚀刻工艺图形化所述电流阻挡层，保留位于后续电极正下方的电流阻挡层区域；（5）制作电极，从而制得发光二极管芯片结构。
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