[发明专利]微机电系统的可动载具结构有效
| 申请号： | 201410346693.X | 申请日： | 2014-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN104348326B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 林素贞;吴名清 | 申请（专利权）人： | 智动全球股份有限公司 |
| 主分类号： | H02K33/02 | 分类号： | H02K33/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 朱振德 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种微机电系统的可动载具结构，应用微机电系统技术于一硅基板形成的可动载具结构，包括框架部、可动承载部，及二组弹簧结构分别设于可动承载部直线移动方向的二侧用以连接可动承载部于框架部内；透过可动承载部上的导电线圈回路及组弹簧结构设计，通过线圈回路导入电流后与外界的铁磁性材料相互作用而产生的作用力使可动承载部直线移动。该可动载具结构具有体积微小化、系统整合性佳、高光轴精度、批量化制造能力等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 可动载具 结构 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统的可动载具结构，应用微机电系统技术于一硅基板形成的可动载具结构，其特征在于，该可动载具结构包括：一第一框架部；一第二框架部，该第二框架部设置于第一框架部内，且该第二框架部上设有一第一导电线圈回路；二组第一弹簧结构，二组该第二框架部分别设于该第二框架部在第一直线移动方向的二侧，用以连接该第二框架部于该第一框架部内，且在该第二框架部直线移动时提供弹性回复力；一可动承载部，该可动承载部设置于该第二框架部内，且该可动承载部上设有一第二导电线圈回路；及二组第二弹簧结构，二组该第二弹簧结构分别设于该可动承载部在第二直线移动方向的二侧，用以连接该可动承载部于该第二框架部内，且在该可动承载部直线移动时提供弹性回复力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于智动全球股份有限公司，未经智动全球股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410346693.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
