[发明专利]压电膜制造方法、振动片、振子、振荡器、设备和移动体在审
| 申请号： | 201410347246.6 | 申请日： | 2014-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN104333338A | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 山崎隆;岩本修 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 压电膜制造方法、振动片、振子、振荡器、设备和移动体。与现有的制造方法相比，能够提高作为压电膜的功能，并且能够通过抑制应力迁移来提高压电膜的可靠性。压电膜制造方法包括以下工序：在N2气体和Ar气体的混合气氛中，将Al-Cu合金(52)作为成膜材料，使用溅射法形成压电体(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 制造 方法 振动 振荡器 设备 移动 | ||
【主权项】：
一种压电膜制造方法，其特征在于，所述压电膜制造方法包括以下工序：在N2气体和Ar气体的混合气氛中，将Al‑Cu合金作为成膜材料，使用溅射法形成压电膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410347246.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
