[发明专利]用于微细加工原子钟、磁力计和其它装置的多腔汽室结构有效
| 申请号： | 201410347282.2 | 申请日： | 2014-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN104345032B | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | R·伯尔萨;P·J·霍佩尔;W·弗伦奇 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/03 | 分类号： | G01N21/03 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于微细加工原子钟、磁力计和其它装置的多腔汽室结构。一种设备包括具有由一个或更多个通道流体连接的多个腔的汽室。所述腔的至少一个经配置以接收能够分解成一种或更多种气体的第一材料，所述一种或更多种气体包含在汽室内。所述腔的至少一个经配置以接收能够吸收一种或更多种气体的至少一部分的第二材料。汽室可以包括经配置以接收第一材料的第一腔和通过至少一个第一通道流体连接到第一腔的第二腔，其中第二腔经配置以接收气体(一种或更多种)。汽室还可以包括通过至少一个第二通道流体连接到第一腔和第二腔中的至少一个的第三腔，其中第三腔经配置以接收第二材料。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微细 加工 原子钟 磁力计 其它 装置 多腔汽室 结构 | ||
【主权项】：
1.一种设备，所述设备包括：汽室，所述汽室包括：第一腔，其经配置以接收第一材料；第二腔，其通过第一通道流体连接到所述第一腔，所述第二腔经配置以接收所述第一材料分解的一种或更多种气体并且允许辐射穿过所述第二腔；和第三腔，其通过第二通道流体连接到所述第一腔或所述第二腔中的一个，所述第三腔经配置以接收第二材料用于吸收所述第一材料分解的所述一种或更多种气体的一部分。
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