[发明专利]一种微波功率器件栅极的版图设计方法在审
| 申请号： | 201410349287.9 | 申请日： | 2014-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN104102784A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 杜彦东;李仁刚 | 申请（专利权）人： | 浪潮电子信息产业股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L27/02 |
| 代理公司： | 济南信达专利事务所有限公司 37100 | 代理人： | 姜明 |
| 地址： | 250101 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微波功率器件栅极的版图设计方法，属于半导体器件技术领域，包括有源区，源电极，漏电极，栅极版图，其特征是所述的源电极与漏电极分别位于所述的栅极版图的两侧，所述的上述部件都在有源区上，所述的栅极版图中间是中心条与紧贴中心条两侧是外围条同在一图层；本发明有益之处：结构简单，制造方法简易，只通过一次扫描式曝光就形成T型栅极的结构，降低了常规光刻采用光刻板的成本，同时减少了工艺步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 功率 器件 栅极 版图 设计 方法 | ||
【主权项】：
一种微波功率器件栅极的版图设计方法，包括有源区，源电极，漏电极，栅极版图，其特征是所述的源电极与漏电极分别位于所述的栅极版图的两侧，所述的上述部件都在有源区上，所述的栅极版图中间是中心条与紧贴中心条两侧是外围条同在一图层。
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