[发明专利]一种光刻胶涂布及回收装置在审
| 申请号： | 201410350544.0 | 申请日： | 2014-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN104155848A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 杨海浪;魏锋;禹浩荣 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器1、光刻胶传输管2、光刻胶抽取装置4、涂布刮刀5、涂布刮刀传输管6和动力装置7，其特征在于：还包括旋转阀门3；所述旋转阀门3通过光刻胶传输管2与光刻胶容器1相连；所述旋转阀门3通过涂布刮刀传输管6与涂布刮刀5相连；所述旋转阀门3通过螺纹与光刻胶抽取装置4相连；所述动力装置7同时与旋转阀门3和光刻胶抽取装置4相连；所述旋转阀门3包括旋转阀芯3.1和旋转阀门内壳3.3，所述转阀芯3.1旋转一定角度后，设置于其上的通孔将光刻胶容器1和光刻胶抽取装置4连通，所述转阀芯3.1旋转另一角度后，设置于其上的通孔将光刻胶抽取装置4和涂布刮刀5连通。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶涂布 回收 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器(1)、光刻胶传输管(2)、光刻胶抽取装置(4)、涂布刮刀(5)、涂布刮刀传输管(6)和动力装置(7)，其特征在于：还包括旋转阀门(3)；所述旋转阀门(3)通过光刻胶传输管(2)与光刻胶容器(1)相连；所述旋转阀门(3)通过涂布刮刀传输管(6)与涂布刮刀(5)相连；所述旋转阀门(3)通过螺纹与光刻胶抽取装置(4)相连；所述动力装置(7)同时与旋转阀门(3)和光刻胶抽取装置(4)相连。
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