[发明专利]衬底固持模块和包含所述衬底固持模块的衬底处理设备

摘要

本发明提供一种衬底固持模块和包含所述衬底固持模块的衬底处理设备，所述衬底固持模块，包含固持器，具有固持衬底的表面；固持卡盘，插入在所述固持器中以固持所述衬底；弹性变形膜片，安装在固持所述衬底的所述固持卡盘的表面上；以及移动构件，设置在所述固持器中，其中所述移动构件的一端连接到所述固持卡盘，且所述移动构件在与所述弹性变形膜片的变形方向相反的方向上移动所述固持卡盘。当所述弹性变形膜片膨胀时，所述固持卡盘由所述移动构件向后移动，进而容易从所述固持卡盘移除所述衬底。因此，因为设有粘性卡盘的固持卡盘整体由弹性变形膜片和移动构件向后移动，所以未被损坏的衬底容易从粘性卡盘移除。

主权项

一种衬底固持模块，其特征在于包括：固持器，具有固持衬底的表面；固持卡盘，插入在所述固持器中以固持所述衬底；弹性变形膜片，安装在固持所述衬底的所述固持卡盘的表面上；罩，设置在固持所述衬底的所述固持卡盘的一侧以覆盖所述弹性变形膜片；移动构件，设置在所述固持器中，其中所述移动构件的一端连接到所述固持卡盘，且所述移动构件由相对于所述弹性变形膜片膨胀到所述罩的力而产生的抵抗力驱动以使所述固持卡盘在相反于所述罩的方向上向后移动，其中所述固持卡盘包括：固持块，插入在所述固持器中；粘性卡盘，设置在所述弹性变形膜片的至少一侧上且安装在所述固持块上以用粘着力固持所述衬底，其中所述罩包括：盖构件，在所述固持块的宽度方向上设置在所述粘性卡盘的内部，且位于所述弹性变形膜片之前以面对所述弹性变形膜片；以及连接构件，其具有连接到所述盖构件的一端，且从所述盖构件的边缘向外延伸，以使得所述连接构件的另一端耦接到所述固持器。