[发明专利]吸附式硅片涂布旋转台有效
| 申请号： | 201410350810.X | 申请日： | 2014-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN104096662B | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 袁国防 | 申请（专利权）人： | 青岛海之源智能技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司37105 | 代理人： | 王汝银 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市胶州市*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种吸附式硅片涂布旋转台，包括台面，其特征在于，在所述台面上设置有与其同心的，且呈阶梯状径向排列的圆环台，在所述台面的边缘设置有向圆心延伸的开口；在所述开口的末端设置有与最内侧的所述圆环台等高的挡板，所述挡板的两端与最内侧的所述圆环台连接，在所述挡板上设置有缺口。本发明通过在台面上设置圆环台，解决了操作人员在放置硅片时与台面不同心的问题，在台面边缘设置开口方便硅片放取；本发明结构简单，不仅实现了可以放置不同直径的硅片，而且成本比夹持式旋转设备底，且不容易损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 硅片 旋转 | ||
【主权项】：
一种吸附式硅片涂布旋转台，包括台面，其特征在于，在所述台面上设置有与其同心的，且呈阶梯状径向排列的圆环台，在所述台面的边缘设置有向圆心延伸的开口；在所述开口的末端设置有与最内侧的所述圆环台等高的挡板，所述挡板的两端与最内侧的所述圆环台连接，在所述挡板上设置有缺口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛海之源智能技术有限公司，未经青岛海之源智能技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410350810.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：检测装置及其检测窗口清洁方法
- 下一篇：一种球磨机用耐磨衬板的制备工艺
