[发明专利]一种微球聚合物涂层制备装置

摘要

本发明提供一种微球聚合物涂层制备装置，所述的装置包括进气管、射频屏蔽罩、电感线圈、石英谐振腔、真空室。石英谐振腔位于电感线圈中，电感线圈位于射频屏蔽罩中，进气管与石英谐振腔连接，石英谐振腔与真空室连接，真空室内设有样品架、样品升降台、敲击杆。本发明应用于激光惯性约束聚变领域靶丸烧蚀层材料的制备，具有能实现微球聚合物涂层厚度可控、微球聚合物涂层单层及多层掺杂等特点。

主权项

一种微球聚合物涂层制备装置，包括进气管（1）、射频屏蔽罩（2）、电感线圈（3）、石英谐振腔（4）、真空室（8）；其特征在于：石英谐振腔（4）位于电感线圈（3）中，电感线圈（3）位于射频屏蔽罩（2）中；电感线圈（3）两引线从装置顶端的接线柱引出，与射频电源（10）相连；进气管（1）与石英谐振腔（4）连接，石英谐振腔（4）与真空室（8）连接；真空室（8）内设有样品架（5）、样品升降台（6）、敲击杆（7），样品架（5）与样品升降台（6）连接。