[发明专利]压电振子及包括该压电振子的精密位移平台

摘要

本发明公开了一种压电振子及包括该压电振子的精密位移平台，属于压电技术领域，所述压电振子的上下两个表面上分别设置有多层压电陶瓷，压电振子的一侧设置有陶瓷触头，多层压电陶瓷的每层之间及最内表面上设置有内电极，最外表面上设置有外电极，多层压电陶瓷的内电极采用并联的方式连接，与外电极相连；压电振子的上下两表面上的多层压电陶瓷分别分为四个电极区，沿厚度方向极化，相邻两个电极区的极化方向相反；压电振子的上下两个表面的四个电极区对称且连线和加电方式一致，位于同一面内的相邻两个电极区的加电方式相反。本发明采用多层压电陶瓷，使用较小的驱动电压就能提供较大的驱动力，并且能够提高驱动稳定性。

主权项

一种压电振子，其特征在于，所述压电振子的上下两个表面上分别设置有多层压电陶瓷，所述压电振子的一侧设置有陶瓷触头，其中：所述多层压电陶瓷的每层之间及最内表面上设置有内电极，所述多层压电陶瓷的最外表面上设置有外电极，所述多层压电陶瓷的内电极采用并联的方式连接，与所述外电极相连；所述压电振子的上下两表面上的所述多层压电陶瓷分别分为四个电极区，沿厚度方向极化，相邻两个电极区的极化方向相反；所述压电振子的上下两个表面的四个电极区对称且连线和加电方式一致，位于同一面内的相邻两个电极区的加电方式相反。