[发明专利]一种可重复利用的多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚及其制备方法无效
申请号: | 201410361870.1 | 申请日: | 2014-07-28 |
公开(公告)号: | CN104109903A | 公开(公告)日: | 2014-10-22 |
发明(设计)人: | 张福军;张伏严;杨艳红 | 申请(专利权)人: | 常熟华融太阳能新型材料有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 汪旭东 |
地址: | 215500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于生产高效多晶的石英陶瓷坩埚,包括坩埚本体,所述坩埚本体为石英陶瓷坩埚,坩埚本体的上部设有上沿口,上沿口固定在石英坩埚本体上并可拆卸。克服了传统石英陶瓷坩埚几方面的不足,一.多晶硅铸锭用石英坩埚要求原料纯度高、尺寸大,生产成本较高;二.铸锭过程中,传统石英坩埚为一次性的消耗品,大大增加了多晶硅的生产成本;三.传统石英坩埚在铸锭之前,整个内壁需要喷涂氮化硅涂层,进一步增加了多晶硅的生产成本,而且氮化硅涂层的质量及厚度会影响到铸锭的质量;四.传统多晶硅铸锭用石英坩埚的导热性能差等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 重复 利用 多晶 铸锭 石英 陶瓷 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种可重复利用的多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚,包括坩埚本体,其特征在于坩埚本体的上部设有上沿口,上沿口设置在石英坩埚本体上并可拆卸。
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