[发明专利]具有表皮层的封装焊线的制备方法及其成品在审
申请号: | 201410362538.7 | 申请日: | 2014-07-28 |
公开(公告)号: | CN104658916A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
发明(设计)人: | 吕宗鸿;赵健佑 | 申请(专利权)人: | 大亚电线电缆股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/49 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 韩蕾 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种具有表皮层的封装焊线的制备方法及其成品。该制备方法包括:先使用具有适当减面率的眼模伸线加工母材获得芯材;再于芯材上电镀形成抗氧化层,并于抗氧化层上形成表皮层;另热处理包覆有抗氧化层及表皮层的芯材,以获得具有表皮层的封装焊线。依据本发明,由于其先进行伸线加工再进行电镀工艺,故因伸线加工而形成于芯材表面的裂痕能通过电镀工艺加以填补,使抗氧化层得以完整包覆于芯材表面,且表皮层能完整包覆于抗氧化层表面,解决现有技术的封装焊线常因形成于抗氧化层的裂痕而降低半导体装置的品质的问题。 | ||
搜索关键词: | 具有 表皮 封装 制备 方法 及其 成品 | ||
【主权项】:
一种具有表皮层的封装焊线的制备方法,其包括:提供母材;使用眼模减面率为7%至9%的多重钻石眼模伸线母材,以获得芯材;将芯材置于第一电镀液中,并于芯材上电镀形成抗氧化层,以获得包覆有抗氧化层的芯材;将包覆有抗氧化层的芯材置于第二电镀液中,并于包覆有抗氧化层的芯材上电镀形成表皮层,以获得包覆有抗氧化层及表皮层的芯材;以及以400℃至800℃的温度热处理包覆有抗氧化层及表皮层的芯材,制得具有表皮层的封装焊线。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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