[发明专利]氧化锌锡陶瓷靶的制备工艺及使用该靶材制备氧化锌锡镀膜的方法无效
| 申请号： | 201410363823.0 | 申请日： | 2014-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN104087906A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 林嘉佑 | 申请（专利权）人： | 林嘉佑 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种氧化锌锡陶瓷靶，其特征在于，所述氧化锌锡陶瓷靶包括纯度为99.99%的氧化锌粉体和纯度为99.99%的氧化锡粉体混合而成，其中，所述氧化锌粉体和所述氧化锡粉体的质量百分比为6:4～7:3的任一配比。本发明还提出了一种氧化锌锡陶瓷靶的制备工艺，以及使用该靶材制备氧化锌锡膜的方法。本发明制备的氧化锌锡薄膜膜层纯净、粒径均匀、溅射电压稳定性强，工艺易于控制，膜层结合力强，膜层致密性好，膜层可以在无氧的条件下应用于低辐射镀膜玻璃之中。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 陶瓷 制备 工艺 使用 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化锌锡陶瓷靶，其特征在于，所述氧化锌锡陶瓷靶包括纯度为99.99%的氧化锌粉体和纯度为99.99%的氧化锡粉体混合而成，其中，所述氧化锌粉体和所述氧化锡粉体的质量百分比为6:4～7:3的任一配比。
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