[发明专利]基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法

摘要

本发明是有关于一种防止基板在传送移载时落下或碎裂发生的基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法。该基板分断装置包含第1传送部及第2传送部，沿基板的搬送方向即第1方向隔着间隔配置，且具备在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子而进行旋转的带部；刻划单元，设置于该间隔；以及跳动辊子单元，在第1方向，设置在上游侧第2传送部与下游侧第2传送部之间，至少具备第1辊子与第2辊子；该第1辊子位于该第2传送部的带部外侧，且该第2辊子位于该第2传送部的带部内侧；该第1辊子及该第2辊子，在与该第1方向交叉的第2方向，形成为可相互地往相反方向移动。本发明还提供一种基板分断装置的基板搬送方法。

主权项

一种基板分断装置，其特征在于其包含：第1传送部及第2传送部，在设置台上，沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔着间隔配置，且具备在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子而进行旋转移动的带部；刻划单元，设置于该间隔并对该基板进行刻划；以及跳动辊子单元，在该第1方向，设置在位于该第2传送部的上游侧的上游侧第2传送部与位于下游侧的下游侧第2传送部之间，且至少具备一对第1辊子及第2辊子；该第1辊子位于该第2传送部的带部外侧，该第2辊子位于该第2传送部的带部内侧；为了刻划该基板，在将该第1传送部的带部上的基板越过该刻划单元而往该上游侧第2传送部的带部上移动的第1刻划中，以与其连动的方式该第1辊子及第2辊子可在与该第1方向交叉的第2方向相互地往相反方向移动，在将该上游侧第2传送部的带部上的基板越过该刻划单元而往该第1传送部的带部上移动的第2刻划中，以与其连动的方式该第1辊子及该第2辊子形成为可在该第2方向往与该第1刻划的情形相反方向、且相互地往相反方向移动，且形成为一体的该上游侧第2传送部与该下游侧第2传送部，可成为互为不同的动作状态。