[发明专利]照明测试装置和照明均匀性、杂散光的测试方法有效
| 申请号： | 201410366680.9 | 申请日： | 2014-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN105319858B | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 江传亮;许琦欣;王天寅 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种照明测试装置和照明均匀性、杂散光的测试方法，增加专用探测光路用于进行能量探测，解决了像面空间采样频率不足的问题，且可以同时实现对小视场照明均匀性和杂散光的高精度测量；试时间较传统的运动台带动点能量传感器的方案更短；对于杂散光可进行实时监控，无需加载掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 测试 装置 均匀 散光 方法 | ||
【主权项】：
一种照明测试装置，用于对无掩模曝光装置进行照明均匀性和杂散光性能的测量，所述照明测试装置包括：激光器，用于提供照明测试所需要的测试光线，所述测试光线入射至所述无掩模曝光装置的空间光调制器以形成调制图形；物镜，用于将所述调制图形成像到所述无掩模曝光装置的工件台承载的基底表面；探测光路，所述探测光路包括一感光元件，来自基底表面的部分能量成像至感光元件上；高反射体，所述高反射体固定于所述工件台上，用于反射所述基底表面的部分能量到所述探测光路中。
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