[发明专利]一种适应多种工艺类型硅片的预对准装置

摘要

本发明涉及一种适应多种工艺类型硅片的预对准装置，包括吸盘底座、陶瓷吸盘、半月吸盘、线阵CCD、镜片反射光机系统及对射光机系统，陶瓷吸盘与半月吸盘均安装于吸盘底座上，陶瓷吸盘能够沿Z向做升降运动，并能够沿中心轴旋转；半月吸盘能够相对于陶瓷吸盘在水平方向上运动；镜片对所述反射光机系统、透射光机系统发出的光束分别进行反射、透射，透过镜片，在反射光机系统与透射光机系统之间切换；反射光机系统利用反射式预对准方式检测硅片边缘的信息，并经由线阵CCD收集镜片反射的硅片边缘的信息；对射光机系统利用透射式预对准方式检测硅片边缘的信息，并经由线阵CCD收集镜片透射的硅片边缘的信息。本发明能够适应多种工艺类型硅片。

主权项

一种适应多种工艺类型硅片的预对准装置，其特征在于，包括吸盘底座、陶瓷吸盘、半月吸盘、线阵CCD、镜片、反射光机系统以及对射光机系统，其中，所述陶瓷吸盘与半月吸盘均安装于所述吸盘底座上，所述陶瓷吸盘能够沿Z向做升降运动，并能够沿中心轴旋转；所述半月吸盘能够相对于所述陶瓷吸盘在水平方向上运动；所述镜片对所述反射光机系统、所述对射光机系统发出的光束分别进行反射、透射，透过所述镜片，在所述反射光机系统与所述对射光机系统之间切换，以适应不同工艺类型的硅片预对准检测；所述反射光机系统利用反射式预对准方式检测硅片边缘的信息，并经由所述线阵CCD收集所述镜片反射的所述硅片边缘的信息；所述对射光机系统利用透射式预对准方式检测硅片边缘的信息，并经由所述线阵CCD收集所述镜片透射的所述硅片边缘的信息。