[发明专利]一种掩膜板检测装置和方法

摘要

本发明的目的是提供一种掩膜板检测装置和方法，其中所述装置包括：设置在检测板表面的多个光敏电阻，其中所述掩膜板上每个透光区域的位置与所述光敏电阻的作用区域对应；检测板用于当平行光通过掩膜板上的透光区域照射到多个光敏电阻上时，检测多个光敏电阻的电阻值，并判断多个光敏电阻的电阻值是否超过标准值，当所述多个光敏电阻中的第一光敏电阻的电阻值超过标准值时，反馈与第一光敏电阻的作用区域对应的掩膜板上的第一透光区域的位置信息。本发明能够确定掩膜板表面是否存在微小异物，并确定微小异物所在的区域，防止因微小异物引起显影后形成的图形存在共同缺陷而造成的损失。

主权项

一种掩膜板检测装置，其特征在于，所述装置包括：设置在检测板表面的多个光敏电阻，其中所述掩膜板上每个透光区域的位置与所述光敏电阻的作用区域对应；所述检测板用于当平行光通过所述掩膜板上的透光区域照射到所述多个光敏电阻上时，检测所述多个光敏电阻的电阻值，并判断所述多个光敏电阻的电阻值是否超过标准值，当所述多个光敏电阻中的第一光敏电阻的电阻值超过标准值时，反馈与所述第一光敏电阻的作用区域对应的所述掩膜板上的第一透光区域的位置信息。