[发明专利]靶材加工设备以及加工方法有效
| 申请号： | 201410371498.2 | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105436585B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;周建军 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23C3/28 | 分类号： | B23C3/28;B23C3/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;骆苏华 |
| 地址： | 安徽省合肥市新站区东方大道与大禹路*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材加工设备以及加工方法，其中加工设备包括：铣切设备，用于铣切靶材表面以形成所述密封槽，所述铣切设备包括具有回转中心轴的铣刀，所述铣刀能够绕所述回转中心轴自转，并沿预设轨迹移动；所述铣刀包括体部以及设于所述体部一端用于铣切靶材的铣切部。所述加工方法包括：提供待加工靶材；提供铣切设备，以在所述待加工靶材表面形成密封槽。本发明的有益效果在于：可以形成任何形状的密封槽，具有较强的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材加工设备，用于在靶材表面形成密封槽，其特征在于，包括：铣切设备，用于铣切靶材表面以形成所述密封槽；所述铣切设备包括具有回转中心轴的铣刀，所述铣刀能够绕所述回转中心轴自转，并沿预设轨迹移动；所述铣刀包括体部以及设于所述体部一端用于铣切靶材的铣切部；所述靶材表面具有作为所述铣刀入刀和退刀的排气槽，所述排气槽的深度小于所述密封槽的深度。
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