[发明专利]负型感光性树脂组合物及图案、晶粒、装置的制法

摘要

本发明提供一种负型感光性树脂组合物，其包括碱可溶性树脂(A)、光致产酸剂(B)、碱性化合物(C)、交联剂(D)以及溶剂(E)。碱可溶性树脂(A)包括丙烯酸酯系树脂(A‑1)与酚醛清漆树脂(A‑2)。丙烯酸酯系树脂(A‑1)是由聚合用单体聚合而得，其中所述聚合用单体包括不饱和羧酸或不饱和羧酸酐的单体(a‑1‑1)与单体(a‑1‑2)，并且单体(a‑1‑2)包括具有三环癸烷或双环戊二烯结构的化合物(a‑1‑2‑1)、式(1)所示的化合物(a‑1‑2‑2)或上述两者的组合。酚醛清漆树脂(A‑2)是由醛类化合物与芳香族羟基化合物聚合而得，其中芳香族羟基化合物包括二甲酚类化合物。

主权项

1.一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，包括：碱可溶性树脂(A)；光致产酸剂(B)；碱性化合物(C)；交联剂(D)；以及溶剂(E)，其中所述碱可溶性树脂(A)包括丙烯酸酯系树脂(A‑1)与酚醛清漆树脂(A‑2)；所述丙烯酸酯系树脂(A‑1)是由聚合用单体聚合而得，其中所述聚合用单体包括不饱和羧酸或不饱和羧酸酐的单体a‑1‑1与单体a‑1‑2，并且所述单体a‑1‑2包括具有三环癸烷或双环戊二烯结构的化合物(a‑1‑2‑1)及式(1)所示的化合物(a‑1‑2‑2)，且基于所述丙烯酸酯系树脂(A‑1)聚合时单体的使用量为100重量份，三环癸烷或双环戊二烯结构的化合物(a‑1‑2‑1)及式(1)所示的化合物(a‑1‑2‑2)的使用量为10至60重量份，式(1)中，m为0至2的整数；所述酚醛清漆树脂(A‑2)是由醛类化合物与芳香族羟基化合物聚合而得，其中所述芳香族羟基化合物包括二甲酚类化合物。