[发明专利]涂布装置及涂布方法

摘要

本发明提供一种涂布装置及涂布方法，即便在涂布液的粘度高的情况下或过滤器等涂布液的供给系统中产生阻力的情况下等，也可适当地对狭缝喷嘴供给涂布液。涂布液的供给系统包括贮存涂布液的贮存槽，以及将所述贮存槽内的涂布液朝向狭缝喷嘴输送的泵。贮存槽配设于腔室内。所述腔室经由压力可变型的调节器与开闭阀而与压缩空气的供给部连接。在泵与贮存槽之间配设着过滤器与开闭阀。泵经由一对开闭阀，而与狭缝喷嘴的两端部连接。在开闭阀与泵之间的配管上，配设着用以对压送到泵中的涂布液的压力进行测定的压力计。

主权项

一种涂布装置，一边通过使涂布对象物与狭缝喷嘴相对地移动，而一边将涂布液涂布于所述涂布对象物的表面，所述涂布装置的特征在于包括：贮存槽，贮存涂布液；泵，将贮存在所述贮存槽中的涂布液根据体积变化输送到所述狭缝喷嘴；加压机构，具备与压缩空气的供给部连接的第一开闭阀，通过对所述贮存槽的内部供给压缩空气而对贮存槽内的涂布液进行加压，而将所述贮存槽内的涂布液压送到所述泵中；压力计，对在供给至所述泵之前向所述泵压送的涂布液的压力进行测定；过滤器与第二开闭阀，配设在所述泵与所述贮存槽之间；以及控制部，根据由所述压力计测定的涂布液的压力，藉由控制所述泵的抽吸动作时向所述贮存槽的内部供给的压缩空气的压力，来控制所述加压机构对涂布液的加压力，使泵的入口侧的压力成为泵可适当运行的压力的范围，所述控制部在所述第一开闭阀打开的状态下，将所述第二开闭阀从闭合到打开后，于所述泵开始进行所述抽吸动作的同时，调整所述加压机构，所述调整包括：当所述泵的所述入口处的压力比压力的下侧的基准值低时，利用所述控制部来使供给到所述贮存槽的压缩空气的压力上升；当所述泵的所述入口处的压力超过压力的上侧的基准值时，利用所述控制部来使供给到所述泵的涂布液的压力固定为此时的压力，其中所述压力的下侧的基准值大於所述泵可适当运行的最小压力，且所述压力的上侧的基准值小於所述泵可适当运行的最大压力。