[发明专利]硅基MEMS麦克风及其制作方法

摘要

本发明实施例公开了一种硅基MEMS麦克风及其制作方法，该麦克风包括：硅基底，固定于所述硅基底上方的振膜，固定于所述振膜背离所述振膜一侧的穿孔背板，至少一个固定于所述背孔侧壁上的限位平台，所述限位平台与所述振膜之间具有预留间隔，且所述限位平台沿所述背孔侧壁至背孔中心方向上的长度小于所述背孔侧壁至所述背孔中心的距离，从而当所述MEMS硅基麦克风在跌落或接收到很强的声波信号时，降低所述振膜因振动幅度过大而受到损坏的概率，提高所述MEMS麦克风的信噪比。

主权项

1.一种硅基MEMS麦克风，其特征在于，包括：硅基底，所述硅基底中具有贯穿所述硅基底的背孔；固定于所述硅基底上方的振膜，所述振膜完全覆盖所述背孔；固定于所述振膜背离所述硅基底一侧的穿孔背板，所述穿孔背板具有多个穿孔，且与所述振膜之间具有空气间隙；至少一个固定于所述背孔侧壁上的限位平台，所述限位平台位于所述背孔的侧壁上，与所述振膜之间具有预留间隔，且所述限位平台沿所述背孔侧壁至背孔中心方向上的长度小于所述背孔侧壁至所述背孔中心的距离。