[发明专利]一种声表面波谐振器型阻抗传感器以及阻抗检测系统在审
| 申请号： | 201410376057.1 | 申请日： | 2014-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN105318901A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 董兰飞;滕学志;陈海军;韦江波;焦清国 | 申请（专利权）人： | 软控股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/56 | 分类号： | G01D5/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266042 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波谐振器型阻抗传感器以及阻抗检测系统,所述声表面波谐振器型阻抗传感器包括第一天线、匹配网络、反射栅、以及叉指换能器，所述至少反射栅、以及叉指换能器设置在压电基片上，所述匹配网络包括由至少一个电容和至少一个电感组成的最佳匹配网络，所述最佳匹配网络还并联有外部传感器，所述外部传感器为电容式或者电感式传感器。本声表面波谐振器型阻抗传感器通过将外部传感器接入匹配网络中，不改变压电基片的结构与布置，因此不会影响传感器的感知性能；而且不会带来设置引脚等所增加的工艺步骤和复杂度；此外，外部传感器可以集成于匹配网络中，集成度高，进一步减少封装结构，减小了传感器整体体积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振器 阻抗 传感器 以及 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种声表面波谐振器型阻抗传感器，其特征在于，包括第一天线、匹配网络、反射栅、以及叉指换能器，所述至少反射栅、以及叉指换能器设置在压电基片上，所述匹配网络包括由至少一个电容和至少一个电感组成的最佳匹配网络，所述最佳匹配网络还并联有外部传感器，所述外部传感器为电容式或者电感式传感器。
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