[发明专利]一种SiC高温高能离子注入机用高压隔离输电装置在审
| 申请号： | 201410382427.2 | 申请日： | 2014-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN104157540A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 袁卫华;彭立波;孙雪平;易文杰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种SiC高温高能离子注入机用高压隔离输电装置，包括地电位区配电柜和高压区配电柜；所述地电位区配电柜将市电送入电动机；所述电动机的输出轴与绝缘传动轴一端的法兰连接，所述绝缘传动轴另一端的法兰与发电机的输入轴连接；所述发电机的电能通过高压区配电柜输送至高压区需电部件。本发明通过两次能量形式转化做到高压隔离输电，装置结构简单，能节省该种SiC高温高能离子注入机的制造成本，缩小设备体积，且节省了后期维护费用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sic 高温 高能 离子 注入 高压 隔离 输电 装置 | ||
【主权项】：
一种SiC高温高能离子注入机用高压隔离输电装置，包括地电位区配电柜（1）和高压区配电柜（7）；其特征在于，所述地电位区配电柜（1）将市电送入电动机（2）；所述电动机（2）的输出轴与绝缘传动轴（4）一端的法兰（5）连接，所述绝缘传动轴（4）另一端的法兰（5）与发电机（6）的输入轴连接；所述发电机（6）的电能通过高压区配电柜（7）输送至高压区需电部件（8）。
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