[发明专利]用于刻蚀太阳能电池硅片的酸性制绒液、制绒方法、太阳能电池片及其制作方法有效
| 申请号： | 201410384313.1 | 申请日： | 2014-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN104195645B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 刘尧平;王燕;杨丽霞;梅增霞;陈伟;梁会力;库兹涅佐夫·安德烈;杜小龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市石金科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 范晓斌;郭海彬 |
| 地址： | 518105 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于刻蚀太阳能电池硅片的酸性制绒液、制绒方法、太阳能电池片及其制作方法。酸性制绒液包括：铜离子源，用于提供浓度为0.1～25mmol/L的铜离子；氟离子源，用于提供浓度为0.5～10mol/L的氟离子；浓度为0.1～1.0mol/L氧化剂，能够将铜氧化为铜离子。采用上述酸性制绒液可以较好地对硅片表面制绒，进而在较低温度和较短时间内在硅片表面上形成独立、完整且紧密排布的微米尺寸倒金字塔结构。该结构将入射光在制绒表面上的反射率降至5％～15％，提高了太阳能电池效率。本发明的倒金字塔结构不局限于HIT及常规扩散电池的制备中，还可以应用在其它使用硅衬底的太阳能电池及光电子器件中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 刻蚀 太阳能电池 硅片 酸性 制绒液 方法 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种用于刻蚀太阳能电池硅片的酸性制绒液，包括：铜离子源，用于提供浓度为0.1～25mmol/L的铜离子；氟离子源，用于提供浓度为0.5～10mol/L的氟离子；和浓度为0.1～1.0mol/L氧化剂，能够将铜氧化为铜离子。
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