[发明专利]阻隔膜及其制作方法

摘要

本发明公开了一种阻隔膜及其制作方法。该阻隔膜包括：柔性基体；设置于柔性基体上的第一无机氧化物薄膜；设置于第一无机氧化物薄膜上的第二无机氧化物薄膜；以及设置于第二无机氧化物薄膜上的保护膜，其中，第一无机氧化物薄膜由溅射或蒸发工艺制备而成，第二无机氧化物薄膜由化学气相沉积工艺制备而成。该制作方法包括：提供柔性基体；通过溅射或蒸发工艺在柔性基体上形成第一无机氧化物薄膜；通过化学气相沉积工艺在第一无机氧化物薄膜上形成第二无机氧化物薄膜；以及在第二无机氧化物薄膜上形成保护膜。该阻隔膜的阻隔性能得以提高，且其生产成本得以降低。

主权项

一种阻隔膜，其特征在于，所述阻隔膜包括：柔性基体；第一无机氧化物薄膜，设置于所述柔性基体上，且所述第一无机氧化物薄膜由溅射或蒸发工艺制备而成；第二无机氧化物薄膜，设置于所述第一无机氧化物薄膜上，且所述第二无机氧化物薄膜由化学气相沉积工艺制备而成；以及保护膜，设置于所述第二无机氧化物薄膜上。