[发明专利]铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置有效
| 申请号： | 201410389960.1 | 申请日： | 2014-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN104347335B | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 小堺智一;松田修;杉山安彦;相田和男;荒卷文朗;八坂行人;大庭弘 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/073 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置。本发明能够位置再现性良好地制作形成于铱针尖的前端部的前端为1个原子的角锥结构，既能够使得杂质不易附着，又能够长时间保持前端的1个原子。铱针尖在锐化的＜210＞方位的单晶的前端部具有角锥结构，该角锥结构的前端仅通过{210}方位的1个铱原子形成，该铱原子由1个{100}结晶面和2个{111}结晶面包围。将形成角锥结构的前端的1个铱原子作为第1层，第1层的正下方的第2层具有位于三角形的顶点的3个铱原子，第2层的正下方的第3层具有位于三角形的顶点和边的6个铱原子。 | ||
| 搜索关键词： | 针尖 使用 离子源 电子 显微镜 装置 | ||
【主权项】：
一种铱针尖，其特征在于，在锐化的＜210＞方位的单晶的前端部具有角锥结构，所述角锥结构具有通过1个{100}结晶面和2个{111}结晶面包围的＜210＞方位的前端，所述前端仅通过1个铱原子形成，将形成所述角锥结构的所述前端的所述1个铱原子作为第1层，所述第1层的正下方的第2层具有位于三角形的顶点的3个铱原子，所述第2层的正下方的第3层具有位于三角形的顶点和边的6个铱原子。
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