[发明专利]多晶硅生产工艺中含有氯硅烷的尾气的处理装置

摘要

本发明公开了一种多晶硅生产工艺中含有氯硅烷的尾气的处理装置，包括：尾气储罐，用于收集并储存多晶硅生产工艺中含有氯硅烷的尾气；工业水一级淋洗塔，与尾气储罐连接，工业水一级淋洗塔用于将输入的多晶硅生产工艺中含有氯硅烷的尾气进行工业水一级淋洗；碱液二级淋洗塔，与工业水一级淋洗塔连接，碱液二级淋洗塔用于将经过工业水一级淋洗塔淋洗过的尾气进行碱液二级淋洗。通过工业水一级淋洗塔内的工业水一级淋洗后，在塔顶聚集氯化氢、氮气和氢气，再通过碱液二级淋洗塔，吸收掉氯化氢，整个装置封闭，得到处理后的可以直接排放的尾气。该装置不仅能有效降低氯化氢对周边环境的腐蚀，还解决了人工捞渣问题，保证了生产的平稳长周期运行。

主权项

一种多晶硅生产工艺中含有氯硅烷的尾气的处理装置，其特征在于，包括：尾气储罐，用于收集并储存多晶硅生产工艺中含有氯硅烷的尾气；工业水一级淋洗塔，与所述尾气储罐连接，所述工业水一级淋洗塔用于将输入的多晶硅生产工艺中含有氯硅烷的尾气进行工业水一级淋洗；碱液二级淋洗塔，与所述工业水一级淋洗塔连接，所述碱液二级淋洗塔用于将经过所述工业水一级淋洗塔淋洗过的尾气进行碱液二级淋洗。