[发明专利]利用两步法制备表面微纳图形的方法有效
| 申请号： | 201410397449.6 | 申请日： | 2014-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN104174999A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 刘佳琛;邵天敏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅;王春霞 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用两步法制备表面微纳图形的方法。该方法步骤如下：(1)在待加工材料表面的加工区域涂覆光敏聚合材料；(2)根据在待加工材料表面制备的微纳图形设计聚焦元件的形状，利用飞秒激光多光子聚合加工装置对所述光敏聚合材料进行多光子聚合加工；(3)利用表面微纳图形的激光加工装置对所述聚焦元件进行激光照射，即在待加工材料表面得到微纳图形。本发明具有以下优点：本发明方法制备过程简便，并提高了聚焦加工过程的分辨率，从而实现表面亚微米至纳米级别图形的制备；采用了激光多光子聚合加工方法可以在任意固体材料表面制备任意形状的三维结构，因此可以广泛应用于表面复杂微纳图形的制备中并能实现大面积的表面微纳图形的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 步法 制备 表面 图形 方法 | ||
【主权项】：
利用两步法制备表面微纳图形的方法，包括如下步骤：(1)在待加工材料表面的加工区域涂覆光敏聚合材料；(2)根据在待加工材料表面制备的微纳图形设计聚焦元件的形状，利用飞秒激光多光子聚合加工装置对所述光敏聚合材料进行多光子聚合加工，即在待加工材料表面的加工区域得到所述聚焦元件；所述飞秒激光多光子聚合加工装置包括飞秒激光器；(3)利用表面微纳图形的激光加工装置对所述聚焦元件进行激光照射，即在待加工材料表面得到微纳图形；所述表面微纳图形的激光加工装置包括脉冲激光器。
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