[发明专利]形成金属硅化物的方法及其湿法腐蚀混合液配方

摘要

一种形成金属硅化物的方法，包括：在含单晶、非晶、多晶硅的晶圆表面上沉积镍基金属，含有镍以及至少第二种金属；进行退火，使得镍基金属与暴露区域的硅反应形成镍基金属硅化物，比如位于源漏、栅极区域；采用湿法腐蚀混合液，在不损失刚形成的金属硅化物的同时选择性的湿法腐蚀去除未跟硅反应的镍基金属，其中混合液配方包含碘盐、单质碘、有机或无机酸和溶剂。依照本发明的金属硅化物工艺以及所使用的选择性湿法腐蚀混合液，通过合理调整湿法腐蚀液的各组分配比，在较低温度下获得了寿命较长的化学活性组分，从而降低了湿法腐蚀机台的配置要求，且降低了工艺成本、提高了工艺稳定性。

主权项

1.一种形成金属硅化物的方法，包括：在含单晶、非晶、多晶、微晶硅的晶圆表面上沉积镍基金属，含有镍以及至少第二种金属；进行退火，使得镍基金属与晶圆表面暴露的硅反应形成镍基金属硅化物，所述镍基金属硅化物位于源漏、栅极区域；在室温至80摄氏度下采用湿法腐蚀混合液以选择性的湿法腐蚀去除未与硅反应的镍基金属，其中混合液配方由碘盐、单质碘、有机或无机酸、以及溶剂组成，混合液的pH值达到0或以下。